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光學在菲希爾儀器中的應用

更新時間:2022-03-28   點擊次數:926次

 光學在菲希爾儀器中的應用

FischerX射線和中子光學
開發和制造用于X射線束整形的高精度毛細管光學系統是德國Fischer公司的一項技術核心能力。這些部件是Fischer研制的用于微結構測量的現代微束X射線熒光設備的基礎

應用
薄涂層和極薄涂層的測量以及復雜多層系統的分析:

硅片和PCB上的鍍層
焊盤中銀含量的測量
貼片元件
插入式觸點
引線框架
微量元素和膜層厚度映射
用于X射線束聚焦的高精度毛細管光學器件的開發和制造是我們的核心技術能力之一。由于這些組件,Helmut Fischer的XRF儀器能夠在最小的樣件和微結構上進行測量。作為僅有的兩家制造商之一,我們確保創新和高的測量精度。

多毛細管光學在XRF分析中的重要性
除了使用高亮度的微焦射線管和高效的能量色散探測器外,多毛細管光學的應用對于XRF光譜儀的最佳測量性能也是決定性的。多毛細管將激發光束非常高強度的集中在一個的小光斑上,從而顯著縮短測量時間。納米技術和微電子學領域的現代發展正在增加對更高空間分辨率的需求。長期以來,X射線束高能范圍內的空間分辨率被所謂的光暈效應所影響。這種影響導致樣品表面上測量點的橫向分辨率明顯降低,從而導致定量材料分析中的成分測量錯誤。由于我們多年的經驗和有效的開發工作,我們不僅能夠減少光暈效應,而且能夠生產無光暈的多毛細管。

毛細管光學作為銳利的X射線探針
在Helmut Fischer,您將受益于近30年來在開發適用于廣泛應用的優化多毛細管方面的專業知識。光學原理基于玻璃毛細管內光滑表面上的全外反射效應。全反射的臨界角取決于X射線束的能量、反射材料的密度和反射表面的粗糙度。由于玻璃具有非常低的粗糙度,因此它是制造X射線毛細管光學器件的有效材料。毛細管光學在毛細管內表面上的反射次數方面有所不同。我們在Fischer產品組合中有特定的設計:圓柱形、橢圓形或拋物線形的單毛細管以及各種多毛細管。

 




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