API激光干涉儀XD LASER核心特性

1. 多維度測量能力

6D 型號：一次安裝同時測量 6 個參數：

線性定位誤差 (1 個位置度)

兩個方向直線度 (XX 和 YY 方向)

偏擺角和俯仰角 (兩個角度)

滾動角 (1 個角度)

API激光干涉儀XD LASER型號對比：

型號測量參數

1D定位誤差、重復定位精度、反向間隙、速度、加速度

3D1D 參數 + XX 和 YY 方向直線度

5D3D 參數 + 偏擺角、俯仰角

6D5D 參數 + 滾動角

2. 精度

線性精度：0.5ppm (每米 0.5 微米)

測量范圍：標準 40 米 (1D 可選 80 米)

線性分辨力：0.001μm (納米級)

角度精度：

偏擺 / 俯仰：(1.0+0.1/m) 角秒或 1% 顯示值

滾動角：1.0 角秒

垂直度：±1 角秒

3. 創新設計

緊湊集成：主機集成干涉鏡，無需單獨架設，總重僅 4.2kg

兩點式對光：摒棄傳統三腳架，簡化安裝流程

內置無線通信：增強連接穩定性，減少線纜干擾